[发明专利]一种材料气相外延用方形喷头结构有效
| 申请号： | 201310012395.2 | 申请日： | 2013-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN103060906A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 张俊业;刘鹏;毕绿燕;赵红军;袁志鹏;张国义;童玉珍 | 申请（专利权）人： | 东莞市中镓半导体科技有限公司;北京大学 |
| 主分类号： | C30B25/14 | 分类号： | C30B25/14;C23C16/455 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 谭一兵;王东亮 |
| 地址： | 523518 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种材料气相外延用方形喷头结构，解决在较大的衬底和较大的沉积区域之上提供均匀的前驱物混合问题。本发明方形喷头内设有多个相互独立的隔离区域，隔离区域呈上下结构依层排布，方形喷头顶部设有与隔离区域连通的输入管道，隔离区域底部设有多个气体喷管，气体喷管的喷口设于方形喷头底部。本发明通过方形的喷头结构，独立的隔离区域，以及多个喷头联合使用的方式，可使前驱物以及各种气体混合后均匀沉积在衬底表面，并提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 材料 外延 方形 喷头 结构 | ||
【主权项】：
一种材料气相外延用方形喷头结构，包含有：方形喷头，其特征在于，所述方形喷头内设有多个相互独立的隔离区域，所述隔离区域呈上下结构依层排布，相邻隔离区域之间形成独立腔体并且相互隔离，所述方形喷头顶部设有与隔离区域连通的输入管道，所述隔离区域底部设有多个气体喷管，所述气体喷管的喷口设于方形喷头底部，所述隔离区域底部设有同芯间隔式气体喷管，上层隔离区域的喷口位于间隔式气体喷管的中心喷管底端，中间的隔离区域的喷口位于间隔式气体喷管的中心喷管外侧，底层隔离区域的喷口位于间隔式气体喷管最外层，各喷口为间隔式相互隔离。
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