[发明专利]一种用于透射电镜薄膜样品的研磨抛光装置有效
| 申请号： | 201310015073.3 | 申请日： | 2013-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN103084967A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 杨晓琨;叶飞;蒋鑫;石国辉 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 李宝元 |
| 地址： | 116024*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于透射电镜薄膜样品的研磨抛光装置，其特征是圆柱形基体有四个通孔，除中心通孔外，其余三个通孔围绕圆柱形基体底部的圆心均匀分布，并与三个圆柱形支柱滑动配合；旋转螺杆的圆柱状套筒通过螺钉与圆柱形基体上相应通孔固定连接，圆柱状套筒的中心处开有螺纹通孔供螺杆进出；直角棱台上有与圆柱状基体中心的通孔相对应的通孔，螺栓穿过中心通孔将其与圆柱形基体固定连接；直角棱台的棱角处开有半圆形凹槽和三分之二圆形通孔；微分头与直角棱台配合，通过半圆形凹槽固定，并利用螺钉锁紧；本发明具有结构简单，造价低，对楔形样品的倾斜角度可以较为精确的控制，从而增加样品制备的效率，并提高样品研磨的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 透射 薄膜 样品 研磨 抛光 装置 | ||
【主权项】：
一种用于透射电镜薄膜样品的研磨抛光装置，其特征在于: 该研磨抛光装置包括圆柱形基体(1)、三个圆柱形支柱(2)、三个旋转螺杆(3)、直角棱台(4)；微分头(5)和直角棱台（4）上的三分之二圆形通孔（7）以及半圆形凹槽（8）。圆柱形基体(1)有四个通孔，除中心通孔外，其余三个通孔围绕圆柱形基体(1)底部的圆心均匀分布，三个通孔与三个圆柱形支柱(2)滑动配合；旋转螺杆(3)包括圆柱状套筒(3‑1)和螺杆(3‑2)二部分，圆柱状套筒(3‑1)通过螺钉与圆柱形基体(1)上相应通孔固定连接，圆柱状套筒(3‑1)的中心处开有螺纹通孔，供螺杆(3‑2)进出；直角棱台(4)上有与圆柱状基体(1)中心的通孔相对应的通孔，螺栓穿过中心通孔将其与圆柱形基体(1)固定连接；直角棱台(4)的棱角处开有半圆形凹槽（8）和三分之二圆形通孔（7）； 微分头(5)与直角棱台(4)配合，通过半圆形凹槽（8）固定，并利用螺钉锁紧。
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