[发明专利]湿法刻蚀镍酸镧薄膜和铁电薄膜/镍酸镧复合薄膜的腐蚀液及其制备方法有效
| 申请号： | 201310015080.3 | 申请日： | 2013-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN103087718A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 余萍;陈潇洋;樊明雷;朱建国;张小山 | 申请（专利权）人： | 四川大学 |
| 主分类号： | C09K13/08 | 分类号： | C09K13/08 |
| 代理公司： | 成都科海专利事务有限责任公司 51202 | 代理人： | 黄幼陵 |
| 地址： | 610065 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种湿法刻蚀镍酸镧薄膜和铁电薄膜/镍酸镧复合薄膜的腐蚀液，由双氧水、硝酸、氢氟酸和纯净水配制而成，纯净水、双氧水、硝酸、氢氟酸的体积比为：纯净水∶双氧水∶硝酸∶氢氟酸＝1∶2～3∶0.5～1.0∶0.06～0.12。所述腐蚀液的制备方法，按上述配方在常温、常压下将计量好的纯净水与双氧水混合均匀，然后加入计量好的硝酸并混合均匀，继后加入计量好的氢氟酸并混合均匀。所述腐蚀液可干净、彻底地一次性去除SiO2 和/或Pt表面的LNO薄膜或LNO复合薄膜，得到边缘清晰、侧蚀比小的刻蚀图形。 | ||
| 搜索关键词： | 湿法 刻蚀 镍酸镧 薄膜 复合 腐蚀 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种湿法刻蚀镍酸镧薄膜和铁电薄膜/镍酸镧复合薄膜的腐蚀液，其特征在于由双氧水、硝酸、氢氟酸和纯净水配制而成，纯净水、双氧水、硝酸、氢氟酸的体积比为：纯净水∶双氧水∶硝酸∶氢氟酸＝1∶2～3∶0.5～1.0∶0.06～0.12，所述双氧水的质量浓度为30%，所述硝酸的质量浓度为65%，所述氢氟酸的质量浓度为37%。
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