[发明专利]一种基于GaN-Ga2O3核壳结构纳米线半导体气敏材料无效

专利信息
申请号: 201310016593.6 申请日: 2013-01-16
公开(公告)号: CN103105421A 公开(公告)日: 2013-05-15
发明(设计)人: 李晓干;刘丽鹏;黄辉;王兢;朱慧超;唐祯安;闫卫平 申请(专利权)人: 大连理工大学
主分类号: G01N27/04 分类号: G01N27/04
代理公司: 大连理工大学专利中心 21200 代理人: 侯明远
地址: 116024*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 一种基于GaN-Ga2O3核壳结构纳米线半导体气敏材料,属于电子气敏器件技术领域。其特征是:将直径为50-500 nm的GaN纳米线的表面层高温氧化为一层厚度为5-20nm的Ga2O3,得到具有核壳结构GaN-Ga2O3的纳米线半导体气敏材料,该半导体气敏材料可以用于检测O2,H2,H2S,氮氧化物,各种碳氢化合物气体以及氨气等神经元有害气体。本发明的效果和益处是:载体核纳米线尺寸易于制备,而外层氧化获得的Ga2O3敏感材料厚度为5-20nm,接近德拜耗尽层的尺寸,从而获得对气体响应的高灵敏度,解决了直接制备直径为5-20nm Ga2O3纳米线的技术问题,进一步降低制备费用,节省成本。
搜索关键词: 一种 基于 gan ga sub 结构 纳米 半导体 材料
【主权项】:
一种基于GaN‑Ga2O3核壳结构纳米线半导体气敏材料,其特征是:将直径为50‑500 nm的GaN纳米线的表面层高温氧化为一层厚度为5‑20nm的Ga2O3,得到具有核壳结构GaN‑Ga2O3的纳米线半导体气敏材料。
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