[发明专利]一种磷扩散炉抽风管缓冲箱

摘要

本发明公开了一种磷扩散炉抽风管缓冲箱，包括方形的缓冲箱体，缓冲箱体后侧壁上设有炉管开口，磷扩散炉的炉管通过炉管开口伸入缓冲箱，炉管口部上设有炉帽，炉帽包括底部封闭的圆筒形石英材质帽体，帽体底部设有一向外凸出的开口延嘴，帽体底部内壁焊接有一石英卡环，开口延嘴设置在卡环底面与帽体底壁之间，缓冲箱体前侧敞口并设有密封门，密封门左侧与缓冲箱体之间设有锁闭结构，密封门上设有导流结构，缓冲箱体右侧壁上设有抽风管开口。本发明的缓冲箱密封门上设有导流结构引导空气进入，因而，可以利用自然空气冷却扩散炉管中排除的尾气，而炉帽能够引导三氯氧磷气体，防止缓冲箱向空气中扩散三氯氧磷有害气体。

主权项

一种磷扩散炉抽风管缓冲箱，其特征在于：包括方形的缓冲箱体，所述缓冲箱体后侧壁上设有炉管开口，磷扩散炉的炉管通过所述炉管开口伸入所述缓冲箱，炉管口部上设有炉帽，所述炉帽包括底部封闭的圆筒形石英材质帽体，所述帽体底部设有一向外凸出的开口延嘴，所述帽体底部内壁焊接有一石英卡环，所述开口延嘴设置在卡环底面与帽体底壁之间，所述缓冲箱体前侧敞口并设有密封门，所述密封门右侧与缓冲箱体铰接，所述密封门左侧与缓冲箱体之间设有锁闭结构，所述密封门上设有导流结构，所述缓冲箱体右侧壁上设有抽风管开口。