[发明专利]一种磷扩散炉的三氯氧磷排除装置改进结构无效
申请号: | 201310018342.1 | 申请日: | 2013-01-17 |
公开(公告)号: | CN103088430A | 公开(公告)日: | 2013-05-08 |
发明(设计)人: | 陈功 | 申请(专利权)人: | 陈功 |
主分类号: | C30B31/16 | 分类号: | C30B31/16;H01L21/223 |
代理公司: | 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217 | 代理人: | 胡根良 |
地址: | 313100 浙江省湖州市长兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种磷扩散炉的三氯氧磷排除装置改进结构,包括缓冲箱与抽风管,缓冲箱体后侧壁上设有炉管开口,缓冲箱体前侧敞口并设有密封门,密封门上设有导流结构,缓冲箱体右侧壁上设有抽风管开口;该抽风管为U形管,抽风管一端设置进风口,抽风管另一端设有出风口,出风口连接抽风机;磷扩散炉的炉管通过炉管开口伸入缓冲箱,抽风管进风口通过抽风管开口与缓冲箱连通,炉管口部上设有炉帽,炉帽包括底部封闭的圆筒形石英材质帽体,帽体底部设有一向外凸出的开口延嘴,帽体底部内壁焊接有一石英卡环。本发明利用自然空气和雾状稀释氨水迅速冷却扩散炉管中排除的尾气,防止熔化抽风管的特氟龙涂层,同时使三氯氧磷在抽风管内迅速液化。 | ||
搜索关键词: | 一种 扩散 三氯氧磷 排除 装置 改进 结构 | ||
【主权项】:
一种磷扩散炉的三氯氧磷排除装置改进结构,其特征在于:包括缓冲箱、抽风管与密封水箱,该缓冲箱包括方形的缓冲箱体,所述缓冲箱的内壁涂覆有特氟龙涂层,所述缓冲箱体后侧壁上设有炉管开口,所述缓冲箱体前侧敞口并设有密封门,所述密封门右侧与缓冲箱体铰接,所述密封门左侧与缓冲箱体之间设有锁闭结构,所述密封门上设有导流结构,所述缓冲箱体右侧壁上设有抽风管开口;该抽风管为U形管,抽风管一端设置开口方向与抽风管左侧管道垂直的进风口,抽风管另一端设有高于进风口的出风口,该出风口开口向上并连接抽风机,抽风管的管道内壁设有特氟龙涂层;磷扩散炉的炉管通过所述炉管开口伸入所述缓冲箱,抽风管进风口通过抽风管开口与缓冲箱连通,炉管口部上设有炉帽,所述炉帽包括底部封闭的圆筒形石英材质帽体,所述帽体底部设有一向外凸出的开口延嘴,所述帽体底部内壁焊接有一石英卡环,所述开口延嘴设置在卡环底面与帽体底壁之间;所述抽风管底部开口并设有缩口结构;该密封水箱包括上方敞口的方形密封箱体,密封箱体上方敞口部位为向外侧张开的张口结构,密封箱体底部侧面设有进水口,密封箱体正对进水口的侧面在进水口上方设有溢流排水口,所述缩口结构插入所述张口结构,缩口结构与张口结构密封并固定。
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