[发明专利]减少图像传感器中的串扰的设备和方法

摘要

一种用于减小图像传感器中的串扰的方法包括：提供背照式图像传感器晶圆，在该背照式图像传感器晶圆中形成隔离区域，其中，该隔离区域包围着光电有源区域，在该光电有源区域中从背照式图像传感器晶圆的背面形成开口，并且利用介电材料覆盖该开口的上端，从而形成了嵌在背照式图像传感器晶圆的隔离区域中的气隙。本发明还提供了一种减少图像传感器中的串扰的设备和方法。

主权项

一种方法，包括：提供具有正面和背面的晶圆；在所述晶圆的正面中形成隔离区域，其中，所述隔离区域包围光电有源区域；从所述晶圆的背面开始在所述隔离区域中形成开口；以及利用气隙介电层覆盖所述开口的上端，以形成嵌在所述晶圆的所述隔离区域中的气隙。