[发明专利]一种基于径向偏振激光驱动的极紫外光源产生装置及方法有效
| 申请号： | 201310022423.9 | 申请日： | 2013-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN103149804A | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 罗海鹏;王新兵;左都罗;卢宏;陆培祥 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 朱仁玲 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于径向偏振激光驱动的极紫外光源产生装置及方法，包括径向偏振脉冲激光器、激光放大器、收集镜和液滴发生器；径向偏振脉冲激光器输出低功率高重复率的径向偏振脉冲激光，激光放大器将低功率高重复率的径向偏振脉冲激光进行放大后输出高功率高重复率的径向偏振脉冲激光；高功率高重复率的径向偏振脉冲激光经过聚焦后照射液滴并产生极紫外光。本发明使用径向偏振激光经聚焦后在焦点处具有纵向场分量，纵向场分量所携带的能量不会传播，被Sn吸收后有利于激发到高价态的离子，有效辐射出13.5nm的EUV；同时径向偏振激光束在聚焦时可获得更小的聚焦光斑，聚焦的光斑越小，激光的能量密度越高，产生更强能量的EUV辐射。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 径向 偏振 激光 驱动 紫外 光源 产生 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基于径向偏振激光驱动的极紫外光源产生装置，其特征在于，包括径向偏振脉冲激光器、激光放大器、收集镜和液滴发生器；所述径向偏振脉冲激光器输出低功率高重复率的径向偏振脉冲激光，激光放大器将低功率高重复率的径向偏振脉冲激光进行放大后输出高功率高重复率的径向偏振脉冲激光；液体发生器用于产生液滴，所述高功率高重复率的径向偏振脉冲激光经过聚焦后照射所述液滴并产生极紫外光。
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