[发明专利]一种蒸镀用掩模组件及相应的掩模板安装方法在审
| 申请号： | 201310022990.4 | 申请日： | 2013-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN103938153A | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;高小平;张炜平 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸镀用掩模组件，包括外框、若干数量的支撑，所述外框为两组对边形成的中空四边形结构，所述外框包括蒸镀面和掩模板安装面,所述蒸镀面为所述外框面对蒸镀源的一面，所述掩模板安装面为所述外框背离蒸镀源的一面；所述支撑数量大于等于1，所述支撑跨过所述外框中空区域且两端分别固定安装在所述外框一组对边上。采用本发明的蒸镀用掩模组件可以克服掩模板下垂导致掩模板上的掩模图案变形的问题，提高蒸镀质量，进而提高OLED显示器的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸镀用掩 模组 相应 模板 安装 方法 | ||
【主权项】：
一种蒸镀用掩模组件，包括外框、若干数量的支撑，其特征在于：所述外框为两组对边形成的中空四边形结构，所述外框包括蒸镀面和掩模板安装面,所述蒸镀面为所述外框面对蒸镀源的一面，所述掩模板安装面为所述外框背离蒸镀源的一面；所述支撑数量大于等于1，所述支撑跨过所述外框中空区域且两端分别固定安装在所述外框一组对边上。
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