[发明专利]掺Mn的钛酸铋纳-钛酸铋钾-钛酸锶三元系压电薄膜材料及其制备方法

摘要

本发明涉及一种掺Mn的钛酸铋纳-钛酸铋钾-钛酸锶三元系压电薄膜材料及其制备方法，按0.95(0.8Bi_1/2Na_1/2TiO₃-0.2Bi_1/2K_1/2)TiO₃-0.05SrTiO₃(BNT-BKT-ST)+xmol％Mn，其中x＝0～1.0％，以硝酸铋、乙酸钠、乙酸钾、乙酸锶、乙酸锰、异丙醇钛、乙酸、乙二醇乙醚，用乙酰丙酮、氨水为原料，采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO₂/Si衬底上旋转涂覆制备单一钙钛矿结构的钛酸铋纳-钛酸铋钾-钛酸锶三元系压电薄膜，薄膜的压电系数可达93pm/V。本发明通过Mn掺杂降低钛酸铋纳-钛酸铋钾-钛酸锶三元系压电薄膜漏电流，提高耐压性，达到传统含铅压电薄膜的性能，在微执行器和驱动器中有较好的应用前景。

主权项

一种掺Mn的钛酸铋纳‑钛酸铋钾‑钛酸锶三元系压电薄膜材料，其特征在于，该薄膜材料的组分为：0.95(0.8Bi_1/2Na_1/2TiO₃‑0.2Bi_1/2K_1/2)TiO₃‑0.05SrTiO₃+x mol％Mn，其中0＜x≤1.0。