[发明专利]用于晶圆的刷洗装置和刷洗方法有效
| 申请号： | 201310023763.3 | 申请日： | 2013-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN103071650A | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 路新春;梅赫赓;裴召辉;何永勇 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | B08B7/04 | 分类号： | B08B7/04;B08B1/00;B08B3/02;B08B3/08;H01L21/67;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成;黄德海 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于晶圆的刷洗装置和刷洗方法，所述用于晶圆的刷洗装置包括：机架；第一和第二毛刷，所述第一和第二毛刷相对地且间隔开地安装在所述机架上以分别用于刷洗晶圆的两侧表面；和第一和第二清洗液供给单元，所述第一和第二清洗液供给单元相对地且间隔开地安装在所述机架上以分别用于向所述晶圆的两侧表面供给清洗液，其中所述第一和第二清洗液供给单元中的每一个供给的清洗液的量沿所述晶圆的径向由内向外增加。根据本发明实施例的用于晶圆的刷洗装置可以提高晶圆的刷洗效率，减少晶圆的刷洗时间，减少刷洗晶圆的清洗液用量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 刷洗 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于晶圆的刷洗装置，其特征在于，包括：机架；第一和第二毛刷，所述第一和第二毛刷相对地且间隔开地安装在所述机架上以分别用于刷洗晶圆的两侧表面；和第一和第二清洗液供给单元，所述第一和第二清洗液供给单元相对地且间隔开地安装在所述机架上以分别用于向所述晶圆的两侧表面供给清洗液，其中所述第一和第二清洗液供给单元中的每一个供给的清洗液的量沿所述晶圆的径向由内向外增加。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学，未经清华大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310023763.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种适于自动闭锁的压力容器阀
- 下一篇：二氧化碳回收气化炉掺烧装置
