[发明专利]图像传感器及其制造方法

摘要

本发明涉及图像传感器及其制造方法。图像传感器包括：具有前侧和后侧的衬底；在衬底前侧上包含电路的绝缘结构；分别延伸穿过衬底至电路的接触孔；以及布置在衬底后侧上、分别沿着延伸穿过接触孔的导电路径电连接到电路并且位于电路的正上方的多个焊盘。通过导电层形成在衬底的后侧上并且被图案化以形成在电路正上方的焊盘的工艺来制造图像传感器。

主权项

1.一种图像传感器，所述图像传感器具有光接收区域和在所述光接收区域周围延伸的电路区域，所述图像传感器包括：衬底，所述衬底具有前侧和后侧；像素传感器，所述像素传感器被布置在所述光接收区域中所述衬底的所述前侧；包含绝缘结构的电路，其包括电绝缘材料的绝缘层和电路，所述绝缘层在所述电路区域和所述光接收区域两者中覆盖所述衬底的所述前侧，并且所述电路构造为驱动并传递所述像素传感器的输出，其中所述电路仅位于所述电路区域中的所述绝缘层内；接触孔，所述接触孔分别延伸穿过所述衬底并且延伸到所述电路；以及多个导电焊盘，所述多个导电焊盘被布置在所述衬底的所述后侧上，所述导电焊盘位于所述电路的正上方并且沿着导电路径分别电连接到所述电路，所述导电路径延伸穿过所述接触孔，其中，所述电路包括多个布线层和连接布线层的布线接触件。