[发明专利]一种激光干涉仪光程差定位方法及系统

摘要

本发明公开了一种结构简单、紧凑的光路折叠激光干涉仪系统，用于傅里叶变换光谱仪动镜、定镜两路光程差精确定位。通过采用空间上布局紧凑的角锥回射器和反射镜组合，激光干涉仪的动臂光路被折叠4次，干涉仪产生的干涉图样周期缩短4倍。通过过零点检测电路的光电转换，可产生小于100纳米的等光程差间隔脉冲信号，用于触发傅里叶变换光谱仪的探测器对待测信号干涉图样的采样。本发明提出的激光干涉仪系统不仅可以将傅里叶变换光谱仪的工作光谱范围向短波段拓展至近紫外(~350纳米)，还同时保持了傅里叶变换光谱仪的高测量精度(Connes)优点。据此实现的紫外-可见光傅里叶变换光谱仪可在化学、生物、医药、材料、光学等诸多领域得到广泛应用。

主权项

一种激光干涉仪光程差定位方法，其特征是，来自激光器的准直光束射向立方体分束器，被立方体分束器反射的反射光射向定镜，经过定镜垂直反射后回到所述立方体分束器；所述准直光束透过立方体分束器的部分光束射向运动的大角锥回射器后被回射向固定不动的小角锥回射器；被小角锥回射器回射后再次射向运动大角锥回射器；然后再次被大角锥回射器回射向固定平面反射镜；最后被固定不动的平面反射镜反射沿入射光路原路返回；所述被平面反射镜反射沿入射光路原路返回的透射光束和被定镜垂直反射的反射光束在所述立方体分束器会合并发生干涉，干涉光信号通过光电二极管探测并完成光电转换；其中，所述大角锥回射器沿入射光平行方向做直线往复扫描运动。