[发明专利]贴片式云纹光栅的制作方法有效
| 申请号： | 201310025945.4 | 申请日： | 2013-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN103076645A | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 谢惠民;戴相录;朱荣华;吴立夫 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成;黄德海 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种贴片式云纹光栅的制作方法，包括：步骤1：清洁基底的表面并将所述基底可分离地固定在载板上；步骤2：将紫外固化胶均匀涂覆在所述基底上；步骤3：将模板置于所述紫外固化胶上并利用紫外纳米压印机进行压印；步骤4：压印完成且所述紫外固化胶固化后，将所述模板从所述紫外固化胶上脱除且所述基体与固化后的所述紫外固化胶可分离；步骤5：在固化后的所述紫外固化胶上镀功能膜；步骤6：在所述功能膜上可分离地覆盖保护膜。根据本发明实施例的贴片式云纹光栅的制作方法，可制作不同频率、不同截面形状、适用不同服役环境的高精度正交或单向光栅。 | ||
| 搜索关键词： | 贴片式云纹 光栅 制作方法 | ||
【主权项】：
一种贴片式云纹光栅的制作方法，其特征在于，包括： 步骤1：清洁基底的表面并将所述基底可分离地固定在载板上； 步骤2：将紫外固化胶均匀涂覆在所述基底上； 步骤3：将模板置于所述紫外固化胶上并利用紫外纳米压印机进行压印； 步骤4：压印完成且所述紫外固化胶固化后，将所述模板从所述紫外固化胶上脱除且所述基体与固化后的所述紫外固化胶可分离； 步骤5：在固化后的所述紫外固化胶上镀功能膜； 步骤6：在所述功能膜上可分离地覆盖保护膜； 步骤7：在被测试工件的表面上涂覆胶水，从固化后的所述紫外固化胶上去除所述基底和所述保护膜中的一个，将所述紫外固化胶或功能膜贴到所述胶水上，然后去除所述基底和所述保护膜中的另一个。
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