[发明专利]微电子机械在线式微波频率检测器及其检测方法有效
| 申请号： | 201310026874.X | 申请日： | 2013-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN103105531A | 公开（公告）日： | 2013-05-15 |
| 发明（设计）人： | 廖小平;易真翔;杨国 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01R23/02 | 分类号： | G01R23/02;B81B7/02 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人： | 黄明哲 |
| 地址： | 211189 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种微电子机械在线式微波频率检测器及其检测方法，检测器制备在GaAs衬底上，包括共面波导CPW传输线、四个完全相同的MEMS悬臂梁结构、功合器以及三个结构完全相同的MEMS间接式微波功率传感器。本发明的微电子机械在线式微波频率检测器不但具有结构新颖，尺寸较小的优点，而且可以实现微波信号频率的在线检测，与GaAs单片微波集成电路兼容。 | ||
| 搜索关键词： | 微电子 机械 在线 式微 频率 检测器 及其 检测 方法 | ||
【主权项】：
微电子机械在线式微波频率检测器，其特征是在GaAs衬底上设有待测信号传输线、四个结构完全相同的MEMS悬臂梁结构、一个功合器以及三个结构完全相同的MEMS间接式微波功率传感器，待测信号传输线为CPW传输线，所述CPW传输线由信号线和地线构成，待测微波信号通过待测信号传输线，四个MEMS悬臂梁结构分为两对，对称悬于待测信号传输线的信号线上方，其中位于待测信号传输线的信号线同一侧两个MEMS悬臂梁结构分别连接一个MEMS间接式微波功率传感器，另一侧对称的两个MEMS悬臂梁结构分别连接至功合器，功合器的输出端连接一个MEMS间接式微波功率传感器。
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