[发明专利]一种超薄Mo-Re合金箔材的制备方法

摘要

本发明提供了一种超薄Mo-Re合金箔材的制备方法，属于Mo-Re合金加工技术领域。本发明克服了难以制备出厚度小于10μm、表面质量良好的Mo-Re合金箔材的难题，成功制备出了厚度为3~5μm、表面质量良好的Mo-Re合金箔材。本发明的制备方法包括粉末冶金法制备合金坯锭、冷轧开坯、冷轧/真空退火的循环操作以及3~5μm箔材的退火等步骤。本发明所制备的合金箔材其成分范围为：Re:43.5~47.5wt%，余量为Mo；其厚度为3~5μm。本发明工艺简单；所制备的箔材的弹性系数为340~350GPa、1200℃时的抗拉强度220~260MPa、显微硬度420~450HV、表面粗糙度（Rmax）0.02~0.05μm，适用于航空航天设备中大功率微波管和行波管等真空器件。

主权项

一种超薄Mo‑Re合金箔材的制备方法，其特征在于包括以下步骤：步骤一：Mo‑Re合金锭的开坯加工将致密度为90~95%的Mo‑Re合金锭切割成坯条后除去表面杂质和油污，然后将坯条进行真空退火，退火后冷轧，得到合金板坯；所述退火的条件为：绝对真空度＜3×10‑3Pa、退火温度1350~1600℃、退火时间40~80min、冷却方式为随炉冷却至室温；所述冷轧包括横向轧制和纵向轧制，先进行总变形量为80~85%的横向冷轧，再进行总变形量为10~30%的纵向冷轧，每道次冷轧的变形量为8~10%；所述Mo‑Re合金中Re的质量百分含量为43.5~47.5%；步骤二：合金板坯的粗加工将步骤一获得的合金板坯清洗干净后放入钼盒中，真空退火后进行总变形量为40~60%的多道次冷轧，冷轧后真空退火，得到合金板粗坯；所述真空退火的条件为：绝对真空度＜3×10‑3Pa、退火温度1350~1600℃、退火时间40~80min、冷却方式为随炉冷却至室温；每道次冷轧的变形量为8~10%；步骤三：合金板坯的加工将步骤二获得的合金板粗坯进行多道次冷轧，直至得到0.1~0.15mm厚的第一合金箔材，当冷轧累积变形量达到50~70%时，进行一次真空退火，所述真空退火的条件为：真空炉为真空钼片炉， 绝对真空度＜3×10‑3Pa、退火温度1350~1600℃、退火时间40~80min、冷却方式为随炉冷却至室温；每道次冷轧的变形量为8~10%；步骤四：合金箔材的精加工将步骤三制备的第一合金箔材进行多道次冷轧，直至得到0.02~0.025mm厚的第二合金箔材，当冷轧累积变形量达到40~50%时，进行一次真空退火，所述冷轧是在20辊轧机上带张力轧制，每道次冷轧的变形量为5~8%，；所述真空退火的条件为：真空炉为真空钼片炉、绝对真空度＜3×10‑4Pa、退火温度为1350~1600℃、退火时间为40~60min、冷却方式为随炉冷却至室温；步骤五：厚度为3~5μm的合金箔的制备将步骤四制备的第二合金箔材进行多道次冷轧，直至得到厚度为3~5μm的合金箔材，将所述合金箔材真空退火得到成品；在冷轧过程中，当冷轧累积变形量达到40~50%时，进行一次真空退火；所述冷轧是在30辊轧机上带张力轧制，每道次冷轧的变形量为5~8%，；所述真空退火的条件为：真空炉为真空钼片炉、绝对真空度＜3×10‑4Pa、退火温度为1350~1600℃、退火时间为40~60min、冷却方式为随炉冷却至室温。