[发明专利]蚀刻NPN掺杂区域形貌以进行失效检验的组合物及检验方法有效
| 申请号： | 201310028802.9 | 申请日： | 2013-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN103965914A | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 傅蓓芬;吴显欣 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/08 | 分类号： | C09K13/08;G01N1/30;G01N13/00 |
| 代理公司： | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 张静洁;徐雯琼 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种有效蚀刻NPN掺杂区域形貌以找出失效原因的组合物，用于在PN结剖面轮廓失效检验中进行结染色，该组合物包含：硝酸、氢氟酸、乙酸、水、五水硫酸铜；该组合物的摩尔比为：硝酸：氢氟酸：乙酸：水：五水硫酸铜=2.9712：0.1734：7：5.18：0.08。本发明组合物所采用的组份都是非常便宜的化学溶剂，降低成本；组合物制备方便，任何检验人员都可以简单的自行制备本发明组合物的化学配比，其样本准备远简单于采用电子检验方式中例如SSRM或SCM的电子设备，实现不需要物色和授权外包的供应商提供检验材料，便于进行PN结剖面轮廓失效检验，具有高成功率。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 npn 掺杂 区域 形貌 进行 失效 检验 组合 方法 | ||
【主权项】：
一种有效蚀刻NPN掺杂区域形貌以找出失效原因的组合物，用于在PN结剖面轮廓失效检验中进行结染色，其特征在于，该组合物包含：硝酸、氢氟酸、乙酸、水、五水硫酸铜；该组合物的摩尔比为：硝酸：氢氟酸：乙酸：水：五水硫酸铜=2.9712：0.1734：7：5.18：0.08。
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