[发明专利]压印装置和制造物品的方法有效
| 申请号： | 201310029991.1 | 申请日： | 2013-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN103226284A | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 铃木章义;篠田健一郎;樋浦充 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F9/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 魏小薇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种压印装置和制造物品的方法。压印装置在使在模具上形成的图案保持与压印材料接触的同时使压印材料硬化，由此将图案转印到压印材料上。该压印装置包括测量单元，该测量单元并行地执行对准测量和叠置测量，在所述对准测量中，测量要将图案转印到的基板上的压射区域与模具之间的相对位置，以使压射区域与模具对准，在所述叠置测量中，测量已使用模具在基板上的另一压射区域中形成的第一图案与第一图案下方的第二图案之间的相对位置。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 装置 制造 物品 方法 | ||
【主权项】：
一种压印装置，该压印装置在使在模具上形成的图案保持与压印材料接触的同时使压印材料硬化，由此将图案转印到压印材料上，该压印装置包括：测量单元，该测量单元并行地执行对准测量和叠置测量，在所述对准测量中，测量要将图案转印到的基板上的压射区域与模具之间的相对位置，以使压射区域与模具对准，在所述叠置测量中，测量已使用模具在基板上的另一压射区域中形成的第一图案与第一图案下方的第二图案之间的相对位置。
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