[发明专利]多晶硅铸锭工艺有效
| 申请号： | 201310031945.5 | 申请日： | 2013-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN103046129A | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 唐自成;刘华;王悦;王玉卓;任建华 | 申请（专利权）人： | 天津英利新能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏晓波 |
| 地址： | 301510 天津市滨海新区津汉公*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅铸锭工艺，包括步骤：1）对单质硅进行加热，直至单质硅融化；2）冷却熔融的单质硅，并使其凝固，进行长晶，形成硅锭；3）对硅锭进行多次退火处理，且退火温度逐次降低。如此对硅锭进行多次退火处理，可以相应的降低相邻的两次退火温度之间所形成的热应力，多次消除硅锭中的热应力，与现有技术中只进行一次退火处理相比，可有效地降低硅锭中的热应力。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 铸锭 工艺 | ||
【主权项】：
一种多晶硅铸锭工艺，其特征在于，包括步骤：1）对单质硅进行加热，直至单质硅融化；2）冷却熔融的单质硅，并使其凝固，进行长晶，形成硅锭；3）对硅锭进行多次退火处理，且退火温度逐次降低。
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