[发明专利]一种具有柱状晶形貌的掺氟二氧化钛薄膜的制备方法

摘要

本发明涉及一种柱状晶形貌的掺氟二氧化钛薄膜的制备方法。该方法通过用溶胶-凝胶法在基板上逐次旋涂镀膜，然后对每层薄膜进行空气中热处理形成锐钛矿型柱状晶形貌的掺氟二氧化钛薄膜，其表现出更好的光催化性能。本发明制备工艺简单，不需要任何昂贵的设备，成本低，可以在任意形状的基板上镀膜，非常适合于二氧化钛光催化以及建筑节能镀膜玻璃的工业化应用。

主权项

一种具有柱状晶形貌的掺氟二氧化钛薄膜的制备方法，包括如下步骤：1) 将掺氟二氧化锡薄膜基板清洗干净；2) 将钛酸四丁酯和乙酸放入乙醇中，钛酸四丁酯:乙酸:乙醇的摩尔比为1:1.5:5‑20，搅拌混合得到A溶液；将氟化铵、硝酸和水放入乙醇中，氟化铵:硝酸:水:乙醇的摩尔比为: 1‑5:0.7:3.8:150‑200，搅拌混合得到B溶液；3) 将步骤2)中的A溶液逐滴加入B溶液中，搅拌混合均匀，得到溶胶；4) 将步骤3)中得到的溶胶在室温下陈化至少22h，得到凝胶；5) 利用旋涂仪将凝胶旋涂在步骤1)的基板上，涂膜时其相对湿度为60%‑70%，在70oC‑100oC温度范围内干燥，挥发除去乙醇，得到干膜；6) 将步骤5)得到的干膜在空气中进行热处理，热处理温度在400℃‑550℃，保温时间为15 min～60 min；7) 重复步骤(5)和(6)至少5次，得到柱状晶形貌的掺氟二氧化钛薄膜。