[发明专利]基于受激辐射的Mirau荧光干涉显微测量装置有效
| 申请号： | 201310033336.3 | 申请日： | 2013-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN103115583A | 公开（公告）日： | 2013-05-22 |
| 发明（设计）人： | 刘俭;谭久彬;王伟波;张拓 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 基于受激辐射的Mirau荧光干涉显微测量装置属于表面形貌测量技术领域；该测量装置包括激光器、沿光线传播方向配置在激光器直射光路上的会聚物镜、第一针孔、准直扩束物镜和分光镜；配置在分光镜反射光路上的聚焦物镜、位移驱动器、参考镜、分光棱镜和被测件；配置在分光镜透射光路上的成像会聚物镜、窄带滤光片、第二针孔和探测器；所述的被测件和参考镜表面采用真空蒸发镀膜法进行镀膜；这种通过镀膜改变被测面的表面特性的设计，保证测量光经被测面反射后能够返回探测系统，解决了高NA和高斜率表面检测的难题，适用于高NA和高斜率球面、非球面和自由曲面三维形貌的超精密测量。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 辐射 mirau 荧光 干涉 显微 测量 装置 | ||
【主权项】：
基于受激辐射的Mirau荧光干涉显微测量装置，其特征在于包括激光器（1）、沿光线传播方向配置在激光器（1）直射光路上的会聚物镜（2）、第一针孔（3）、准直扩束物镜（4）和分光镜（5）；配置在分光镜（5）反射光路上的聚焦物镜（6）、位移驱动器（7）、参考镜（8）、分光棱镜（9）和被测件（10）；配置在分光镜（5）透射光路上的成像会聚物镜（11）、窄带滤光片（12）、第二针孔（13）和探测器（14）；所述的被测件（10）和参考镜（8）表面采用真空蒸发镀膜法进行镀膜。
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