[发明专利]微机械加速度计小电容补偿方法有效
| 申请号： | 201310033427.7 | 申请日： | 2013-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN103969468B | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 江山 | 申请（专利权）人： | 北京哲朗科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京知呱呱知识产权代理有限公司 11577 | 代理人： | 李芙蓉;孙进华 |
| 地址： | 100086 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微机械加速度计小电容补偿电路的方法，是一种两步式小电容补偿方法，解决了在集成电路内部无法对小电容进行补偿的不足。通过这种补偿方法，可以实现在集成电路内部对aF量级电容进行准确的补偿。本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：首先对加速度信号进行前级放大并部分补偿电容不匹配。由于信号放大的作用，使得电容不匹配也被放大，从而可在第二级放大部分用较大的电容来补偿较小的电容不匹配值。本发明的有益效果是，可以实现在集成电路内部实现微小电容的补偿（aF量级），从而实现微机械加速度计等电容传感器的精准匹配。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 加速度计 电容 补偿 电路 | ||
【主权项】：
1.一种微机械加速度计小电容补偿的方法，该微机械加速度计包括上极板、中间极板和下极板，中间极板连接前级放大器的负输入端，第一补偿电容的一端连接前级放大器的负输入端，另一端通过开关分别连接上、下极板，第一反馈电容连接在前级放大器的负输入端和输出端之间，前级放大器的输出端通过采样电容连接第二级放大器的负输入端，第二补偿电容的一端连接第二级放大器的负输入端，另一端通过开关分别连接上、下极板，第二反馈电容连接在第二级放大器的负输入端和输出端之间，其特征在于，该方法包括：第一步，利用前级放大器对加速度信号进行前级放大，并利用所述第一补偿电容部分补偿上、下极板间的电容不匹配；第二步，由于前级放大器使得上、下极板间的电容不匹配也被放大，在第二级放大器使用较大的第二补偿电容补偿上、下极板间的电容不匹配。
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