[发明专利]MEMS阀运行轮廓有效
| 申请号： | 201310035240.0 | 申请日： | 2013-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN103225702A | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | Z.谢 | 申请（专利权）人： | 通用汽车环球科技运作有限责任公司 |
| 主分类号： | F16K11/065 | 分类号： | F16K11/065;F16K31/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 代易宁 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及MEMS阀运行轮廓。提供了一种具有微机电系统的MEMS流体控制系统。所述系统包括多个口、腔、阀、促动器和一对电触点。多个口与腔连通，阀布置在腔内，且阀连接到促动器。系统进一步包括液压回路，所述液压回路具有与第一多个口连通的压力供给管线，与第二多个口连通的控制管线，和与第三多个口连通的排出管线。阀包括细长部分和阻断部分，所述阻断部分包括第一、第二和第三部分。 | ||
| 搜索关键词： | mems 运行 轮廓 | ||
【主权项】：
一种微机电流体控制装置，所述装置包括：第一板、第二板和中间板，其中中间板定位在第一板和第二板之间，第一板包括一对电触点腔，第二板包括第一口、第二口和第三口，且中间板包括阀、阀腔和促动器；且其中第一口、第二口和第三口与阀腔连通，阀布置在腔内，且阀连接到促动器；且其中阀包括细长部分和阻断部分，且阻断部分包括第一部分、第二部分和第三部分。
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