[发明专利]微机械固体电解质传感器装置及相应的制造方法有效
申请号: | 201310035560.6 | 申请日: | 2013-01-30 |
公开(公告)号: | CN103226125B | 公开(公告)日: | 2017-03-01 |
发明(设计)人: | R.菲克斯;A.克劳斯 | 申请(专利权)人: | 罗伯特·博世有限公司 |
主分类号: | G01N27/407 | 分类号: | G01N27/407;B81B1/00;B81C1/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人: | 丁永凡,刘春元 |
地址: | 德国斯*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提出了一种微机械固体电解质传感器装置和一种相应的制造方法。微机械固体电解质传感器装置具有微机械承载衬底(1;1a;1b),所述微机械承载衬底(1;1a;1b)带有前侧(VS;VSa;VSb)和背侧(RS;RSa;RSb);第一多孔电极(E1,E1',E1'')和第二多孔电极(E2;E2';E2'');以及嵌在所述第一多孔电极(E1,E1',E1'')与所述第二多孔电极(E2;E2';E2'')之间的固体电解质(5)。 | ||
搜索关键词: | 微机 固体 电解质 传感器 装置 相应 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种微机械固体电解质传感器装置,其具有:微机械承载衬底(1;1a;1b),所述微机械承载衬底(1;1a;1b)带有前侧(VS;VSa;VSb)、背侧(RS;RSa;RSb)和经多孔化的区域(PO);第一多孔电极(E1,E1',E1'')和第二多孔电极(E2;E2';E2'');以及嵌在所述第一多孔电极(E1,E1',E1'')与所述第二多孔电极(E2;E2';E2'')之间的固体电解质(5)。
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