[发明专利]磁控溅射阴极靶材的密封结构有效
| 申请号： | 201310035566.3 | 申请日： | 2013-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN103060766A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 陈诚;邵帅;刘西宁 | 申请（专利权）人： | 安徽省蚌埠华益导电膜玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 34102 | 代理人： | 王琪 |
| 地址： | 233010 安徽省蚌*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及磁控溅射阴极靶材的密封结构。包括靶材和阴极座，所述的靶材固定在靶背板上，所述的靶背板与阴极座之间设有导磁不锈钢密封板，所述的导磁不锈钢密封板与阴极座之间设有密封两者的第一密封圈，所述的导磁不锈钢密封板及靶背板分别与阴极座固定连接。由上述技术方案可知，本发明通过在阴极座与靶背板之间增设一个导磁不锈钢密封板，且该导磁不锈钢密封板与阴极座相密封固定，这样在日常对靶背板进行检查、维修等操作时，直接将靶背板与阴极座相拆卸即可，整个拆卸过程不会影响到阴极座与导磁不锈钢密封板之间的密封圈，避免了对密封圈的损害，提高了密封圈的使用寿命，减少了日常的使用成本。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控溅射 阴极 密封 结构 | ||
【主权项】：
一种磁控溅射阴极靶材的密封结构，包括靶材（1）和阴极座（2），所述的靶材（1）固定在靶背板（3）上，其特征在于：所述的靶背板（3）与阴极座（2）之间设有导磁不锈钢密封板（4），所述的导磁不锈钢密封板（4）与阴极座（2）之间设有密封两者的第一密封圈（5），所述的导磁不锈钢密封板（4）及靶背板（3）分别与阴极座（2）固定连接。
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