[发明专利]刻蚀烘烤设备的反应炉有效
| 申请号： | 201310036565.0 | 申请日： | 2013-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN103088412A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 周永君;徐小明;丁云鑫;毛棋斌 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰明芯科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 浦易文 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种刻蚀烘烤设备的反应炉，所述反应炉包括反应室组件、加热组件以及冷却组件，其中，所述反应室组件包括反应罩，所述反应罩上设有通气管，反应气体通过所述通气管输入到反应罩内部；所述加热组件包括红外灯管组件，所述红外灯管组件设置在所述反应罩外侧；所述冷却组件包围所述加热组件设置。采用根据发明的反应炉，可以使反应炉可以使反应腔内的温度稳定均匀、加热反应周期短，从而延长石墨盘的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 刻蚀 烘烤 设备 反应炉 | ||
【主权项】：
一种刻蚀烘烤设备的反应炉（10），所述反应炉包括反应室组件（100）、加热组件（200）以及冷却组件，其特征在于，所述反应室组件（100）包括反应罩（110），所述反应罩（110）上侧设有通气管（111），反应气体通过所述通气管（111）输入到所述反应罩（110）内部；所述加热组件（200）包括红外灯管组件（210），所述红外灯管组件（210）设置在所述反应罩（110）外侧；所述冷却组件包围所述加热组件（200）设置。
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