[发明专利]石墨盘烤盘工装有效

专利信息
申请号: 201310038896.8 申请日: 2013-01-29
公开(公告)号: CN103103498A 公开(公告)日: 2013-05-15
发明(设计)人: 周永君;徐小明;丁云鑫 申请(专利权)人: 杭州士兰明芯科技有限公司
主分类号: C23C16/44 分类号: C23C16/44;C30B25/02
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 浦易文
地址: 310018 浙江省杭州市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明涉及一种石墨盘烤盘工装,该石墨盘烤盘工装包括:用于支承石墨盘的烤盘架,烤盘架包括盘架主体和安装在盘架主体上的多个支撑条,这些支撑条构造成支承石墨盘的圆周边;其中烤盘工装还包括:支撑座,该支撑座具有支承所述烤盘架的支撑面,支撑座由耐高温隔热材料制成。采用本发明的石墨盘烤盘工装,可以满足烤盘高度固定需要、隔热需要、气体反应和吹扫需要,同时确保较高的热效率。
搜索关键词: 石墨 盘烤盘 工装
【主权项】:
一种石墨盘烤盘工装(10),所述石墨盘烤盘工装包括:用于支承石墨盘的烤盘架(110),所述烤盘架(110)包括盘架主体和安装在盘架主体上的多个支撑条(114),这些支撑条(114)构造成支承石墨盘的圆周边(22);其特征在于:所述烤盘工装还包括:支撑座(120),所述支撑座(120)具有支承所述烤盘架(110)的支撑面(122),所述支撑座(120)由耐高温隔热材料制成。
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