[发明专利]石墨盘烤盘工装有效
申请号: | 201310038896.8 | 申请日: | 2013-01-29 |
公开(公告)号: | CN103103498A | 公开(公告)日: | 2013-05-15 |
发明(设计)人: | 周永君;徐小明;丁云鑫 | 申请(专利权)人: | 杭州士兰明芯科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44;C30B25/02 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 浦易文 |
地址: | 310018 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及一种石墨盘烤盘工装,该石墨盘烤盘工装包括:用于支承石墨盘的烤盘架,烤盘架包括盘架主体和安装在盘架主体上的多个支撑条,这些支撑条构造成支承石墨盘的圆周边;其中烤盘工装还包括:支撑座,该支撑座具有支承所述烤盘架的支撑面,支撑座由耐高温隔热材料制成。采用本发明的石墨盘烤盘工装,可以满足烤盘高度固定需要、隔热需要、气体反应和吹扫需要,同时确保较高的热效率。 | ||
搜索关键词: | 石墨 盘烤盘 工装 | ||
【主权项】:
一种石墨盘烤盘工装(10),所述石墨盘烤盘工装包括:用于支承石墨盘的烤盘架(110),所述烤盘架(110)包括盘架主体和安装在盘架主体上的多个支撑条(114),这些支撑条(114)构造成支承石墨盘的圆周边(22);其特征在于:所述烤盘工装还包括:支撑座(120),所述支撑座(120)具有支承所述烤盘架(110)的支撑面(122),所述支撑座(120)由耐高温隔热材料制成。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的