[发明专利]一种批量化洁净度检测方法

摘要

本发明涉及一种批量化洁净度检测方法，利用简单的水蒸汽就可以进行单抛蓝宝石平片衬底表面洁净度检测：将平片置于一定高度，斜上方放置一盏白光源，前方放置可以产生去离子水蒸汽的装置；装置中冒出的水蒸汽在平片表面遇冷成一层薄水雾，此时在平片侧面借助其前面的光源可以看到表面或是七彩纹路，或者白光源的虚像，这两种情形便可以说明平片表面洁净度状况。本发明介绍的方法成本低，操作方便，适合批量化蓝宝石平片洁净度的检验。

主权项

一种批量化洁净度检测该方法，用于检测蓝宝石衬底表面洁净度，其特征在于包括以下步骤：1）将待测样品置于一定高度，斜上方放置一盏白光灯，前方放置可以产生去离子水蒸汽的发生装置；2)通电待去离子水蒸汽发生装置加热至沸腾可以看见明显的水蒸汽冒出，将所需要测试的样品按照要求放置在片盒中，开启白光灯；3）手持去离子水蒸汽发生装置的喷头将其移至待测样品前面，将蒸汽喷到待测样品表面，当水蒸汽接触到蓝宝石平片表面时遇冷会形成一层薄薄的水膜，借助白光灯照射能清晰看到待测样品出现的反射图像；4）如果待测样品表面状态一致则会形成均匀水膜，光照射过来后会统一形成反射光；相反若表面存在油脂，或者其它未清洗干净污渍，平片表面会局部形成水膜，由此在白光照射下脏污部分会将白光分解成七色光，看见七彩纹路；或灯管虚像。