[发明专利]石英晶片抓取用多孔金属吸头有效
申请号: | 201310039577.9 | 申请日: | 2013-02-01 |
公开(公告)号: | CN103056889A | 公开(公告)日: | 2013-04-24 |
发明(设计)人: | 王维锐;刘木林 | 申请(专利权)人: | 浙江大学台州研究院 |
主分类号: | B25J15/06 | 分类号: | B25J15/06 |
代理公司: | 台州市南方商标专利事务所(普通合伙) 33225 | 代理人: | 白家驹 |
地址: | 317600 浙江省台州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种石英晶片抓取用多孔金属吸头,包括外径为10mm的圆柱体,圆柱体的中心一端为M6×0.5的内螺纹,另一端为内径8mm、深5mm的台阶孔;圆柱体的台阶孔内设置有多根外径为0.5mm,内径为0.35mm的芯棒,多根芯棒卷成直径约7.9mm的芯棒体。本发明能够降低晶片表面压强,成本低廉、寿命长、加工方便。 | ||
搜索关键词: | 石英 晶片 取用 多孔 金属 吸头 | ||
【主权项】:
一种石英晶片抓取用多孔金属吸头,其特征在于:包括外径为10mm的圆柱体,圆柱体的中心一端为M6×0.5的内螺纹,另一端为内径8mm、深5mm的台阶孔;圆柱体的台阶孔内设置有多根外径为0.5mm,内径为0.35mm的芯棒,多根芯棒卷成直径约7.9mm的芯棒体。
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