[发明专利]利用光声光谱法检测硫酰氟气体残留浓度的方法有效
| 申请号： | 201310041226.1 | 申请日： | 2013-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN103163087A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 陈默;安德里亚斯·何斯特;李茂 | 申请（专利权）人： | 江苏舒茨测控设备有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/27 | 分类号： | G01N21/27 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 朱显国 |
| 地址： | 215513 江苏省苏州市常熟*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光声光谱法检测硫酰氟气体残留浓度的方法。采用非干涉热辐射源，通过斩波器切光和滤光片滤光，得到强度可调制的单色光；可调制光谱照射在密封的光声池内的微量硫酰氟气体上，硫酰氟气体分子吸收电磁辐射后受激，跃迁到更高一层的激发态，并通过伸缩振动和变形振动回到基态；震动引起气体温度的升高，并释放热能，释放的热能使硫酰氟分子按光的调制频率产生周期性加热，从而产生周期性压力波动；压力波动采用振动敏感度小于<1dB的硅微微音器探测，并通过转换电路放大信号得到光声信号，光声信号由外围电路转换成电信号，再由外围电路内的锁相放大器放大电信号后送入数据采集电路，最后计算完成硫酰氟残留浓度。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 声光 检测 酰氟 气体 残留 浓度 方法 | ||
【主权项】：
一种利用光声光谱法检测硫酰氟气体残留浓度的方法，所述方法包括以下步骤：步骤1、光源（1）采用非干涉热辐射源，通过斩波器（2）切光和滤光片（3）滤光，得到强度可调制的单色光；步骤2、可调制光谱照射在密封的光声池（4）内的微量硫酰氟气体上，硫酰氟气体分子吸收电磁辐射后受激，跃迁到更高一层的激发态，并通过伸缩振动和变形振动回到基态；步骤3、震动引起气体温度的升高，并释放热能，释放的热能使硫酰氟分子按光的调制频率产生周期性加热，从而产生周期性压力波动；步骤4、压力波动采用振动敏感度小于<1dB的硅微微音器探测，并通过转换电路放大信号得到光声信号，光声信号由外围电路转换成电信号，再由外围电路内的锁相放大器放大电信号后送入数据采集电路，最后计算完成硫酰氟残留浓度。
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