[发明专利]一种感光芯片的封装方法及采用该封装方法的封装结构有效
申请号: | 201310042596.7 | 申请日: | 2013-02-04 |
公开(公告)号: | CN103972248B | 公开(公告)日: | 2016-10-12 |
发明(设计)人: | 田丽平 | 申请(专利权)人: | 田丽平 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人: | 孙艳 |
地址: | 415300 湖南省常德*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明提供一种感光芯片的封装方法及采用该封装方法的封装结构,在封装过程中,采用一种特殊工艺保护感光芯片的感光区,确保感光芯片的感光区不易被污染。本发明在封装实施过程中,采用特殊保护工艺,提高了产品的良率,对结构制作环境、制程能力的要求降低,简化了封装工艺,降低了产品的封装成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 感光 芯片 封装 方法 采用 结构 | ||
【主权项】:
一种感光芯片的封装方法,其特征在于,包括以下工序:工序一:保护感光芯片的感光区;工序二:将经过保护的感光芯片减薄,切割分成单个芯片;工序三:将分割后的所述单个芯片采用Wire Bond工艺封装;所述保护感光芯片的感光区工序一包括以下步骤 :步骤1 :提供一张透明的IR玻璃, 通过光刻技术在IR玻璃上形成墙体结构,制成有墙玻璃;步骤2 :将所述有墙玻璃进行切割,形成单个光学盖子;步骤3 :根据感光芯片晶圆尺寸形状,在一有胶基板上重整所述光学盖子,形成一个与所述感光芯片晶圆相匹配的光学玻璃;步骤4 :将所述重整的光学玻璃与所述感光芯片晶圆对位及压合;步骤5 :照射UV紫外线;步骤6 :分离所述重整光学玻璃的基板。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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