[发明专利]一种硫氮共掺杂制备p型氧化锌薄膜的方法有效
| 申请号： | 201310042759.1 | 申请日： | 2013-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN103103479A | 公开（公告）日： | 2013-05-15 |
| 发明（设计）人： | 朱丽萍;许鸿斌 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/35;C23C14/58 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硫氮共掺杂制备p型氧化锌薄膜的方法，选用射频磁控溅射系统作为镀膜设备，选用硫化锌陶瓷作为靶材，首先对衬底材料清洗干净并用氮气吹干；然后进行预溅射，除去靶材表面的杂质、污物；接下来通入反应气体进行溅射；退火处理后得到硫氮共掺杂的p型氧化锌薄膜。本发明采用硫氮共掺杂的方法，使得氧化锌的价带顶上移，降低了氧化锌中氮受主的激活能，提高了p型掺杂的效率。而且可以通过改变N2O和Ar的流量比即可调节薄膜中硫和氮的含量，操作更加灵活简便，同时节约了成本，适合大规模工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硫氮共 掺杂 制备 氧化锌 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
一种硫氮共掺杂制备p型氧化锌薄膜的方法，其特征在于，具体步骤如下：(1)选用射频磁控溅射系统作为镀膜设备，选用硫化锌陶瓷靶材；(2)将衬底材料清洗干净并用氮气吹干；(3)把经过清洗的衬底材料放入溅射腔室，在真空度抽至1×10‑6～7×10‑6Torr时，通入溅射气体Ar，使其起辉，进行预溅射，除去靶材表面的杂质、污物；(4)通入反应气体N2O，使N2O和Ar的流量比为1∶1～1∶5，保持工作气压为2～4mTorr，溅射功率保持为100～200W，溅射时间为0.5～3小时；(5)对步骤(4)得到的样品在N2气氛下进行退火处理。
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