[发明专利]一种大范围高精度的面形检测装置及其检测方法

摘要

本发明属于光学检测技术领域，具体涉及一种大范围高精度的面形检测装置及其检测方法。现有技术会出现2π模糊并且会引入非线性误差的问题。为解决现有技术存在的问题，本发明提供的技术方案是：一种大范围高精度的面形检测装置，包括激光光源、扩束镜、准直镜、分光镜、标准参考镜、CCD相机、图像采集系统和计算机，所述激光光源为可连续变频的变频激光器。本发明测量装置简洁，可靠度高且测量范围大。

主权项

一种大范围高精度的面形检测装置，包括激光光源(1)、扩束镜(2)、准直镜(3)、分光镜(4)、标准参考镜(5)、CCD相机(8)、图像采集系统(9)和计算机(10)，所述激光光源(1)、扩束镜(2)、准直镜(3)和分光镜(4)共光路设置，标准参考镜(5)设置于分光镜(4)的反射光路中，所述CCD相机(8)与图像采集系统(9)连接，图像采集系统(9)和激光光源(1)均与计算机(10)连接，其特征在于：所述激光光源(1)为可连续变频的变频激光器。