[发明专利]一种墨水喷头及其制造方法有效
申请号: | 201310044205.5 | 申请日: | 2013-02-04 |
公开(公告)号: | CN103085479A | 公开(公告)日: | 2013-05-08 |
发明(设计)人: | 陈晓坤;佟鑫;周毅 | 申请(专利权)人: | 珠海纳思达企业管理有限公司 |
主分类号: | B41J2/14 | 分类号: | B41J2/14;B41J2/16 |
代理公司: | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人: | 金辉 |
地址: | 519075 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种墨水喷头及其制造方法,包括:硅基板、设置在硅基板表面上部的振动板、由振动板下表面和硅基板形成的供墨腔室、设置在振动板表面的压电元件、设置在振动板和压电元件上的墨水腔室、使供墨腔室和墨水腔室连通的通孔和与墨水腔室连通的喷嘴;供墨腔室的内壁表面还设置有保护层,保护层外还设置有疏水层。可以利用MEMS一体成型技术来制造来提高喷头的分辨率、降低制造成本,可以使喷头的喷射频率加快,提高打印速度和打印质量。解决了现有墨水喷头的低分辨率、高制造成本和喷射频率低的技术问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 墨水 喷头 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种墨水喷头,包括:硅基板、设置在所述硅基板表面上部的振动板、由所述振动板下表面和硅基板形成的供墨腔室、设置在所述振动板表面的压电元件、设置在所述振动板和压电元件上的墨水腔室、使所述供墨腔室和墨水腔室连通的通孔和与所述墨水腔室连通的喷嘴;其特征是:所述供墨腔室的内壁表面还设置有保护层,所述保护层外还设置有疏水层。
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