[发明专利]一种电泳辅助的太阳能级多晶硅提纯方法有效
申请号: | 201310044935.5 | 申请日: | 2013-02-04 |
公开(公告)号: | CN103072996A | 公开(公告)日: | 2013-05-01 |
发明(设计)人: | 李伟生;龚炳生;王晓艳 | 申请(专利权)人: | 福建兴朝阳硅材料股份有限公司 |
主分类号: | C01B33/037 | 分类号: | C01B33/037 |
代理公司: | 北京元中知识产权代理有限责任公司 11223 | 代理人: | 另婧 |
地址: | 364211 *** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明涉及一种涉及多晶硅的提纯,尤其是一种电泳辅助的太阳能级多晶硅提纯方法。其步骤为:将硅块放置于石墨坩埚中,开启中频炉感应加热至工业硅完全熔化;保持温度,加入造渣剂进行造渣除硼和金属杂质;造渣完成后,开启真空熔炼炉进行真空熔炼除磷和金属杂质;向硅液中施加直流电压,使金属杂质富集;最后进行定向凝固,得到6N级太阳能级多晶硅。本发明采用了造渣、真空熔炼和电泳相结合的方法进行除杂,成本低、环境友好且提纯效果明显。 | ||
搜索关键词: | 一种 电泳 辅助 太阳 能级 多晶 提纯 方法 | ||
【主权项】:
一种电泳辅助的太阳能级多晶硅提纯方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:1)将工业硅装入石墨坩埚中,打开中频炉熔炼开关,调节中频功率使工业硅完全熔化为硅液;2)保持硅液温度在1550~1700℃,将造渣剂加入硅液中,经搅拌、保温、造渣反应后去除硅液表面的浮渣;3)造渣后,盖上真空盖开启真空泵,在真空状态下进行熔炼,得到熔融硅液;4)向熔融硅液中施加直流电压,保持一段时间,使金属杂质向电极富集;5)保持熔融硅液温度在1450~1550℃,进行定向凝固,冷却后取出硅锭,并切除上层杂质富集区,得到提纯后的多晶硅。
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