[发明专利]一种CVD反应器在审
| 申请号： | 201310047081.6 | 申请日： | 2013-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN103964443A | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 钳伟;蔡春立;于曙光;冉占山 | 申请（专利权）人： | 六九硅业有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/027 | 分类号： | C01B33/027 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏晓波 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种CVD反应器，包括硅芯和供原料气体进入所述CVD反应器内部空间中的进气口，其还包括：能够允许所述硅芯进入其内腔中的管形套筒；与所述进气口导通的导气管，且所述导气管与所述套筒导通。本发明提供的CVD反应器，与原有的CVD反应器相比，在CVD反应器的内部空间中设置套筒，进而形成小的反应空间，使生成的单质硅在硅芯上分布的更加均匀，进一步减小了多晶硅棒的直径偏差，提高了CVD反应器生产多晶硅的单次生产量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cvd 反应器 | ||
【主权项】：
一种CVD反应器，包括硅芯（1）和供原料气体进入所述CVD反应器内部空间中的进气口，其特征在于，还包括：能够允许所述硅芯（1）进入其内腔中的管形套筒（2）；与所述进气口导通的导气管（3），且所述导气管（3）与所述套筒（2）导通。
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