[发明专利]感应耦合等离子体处理方法和感应耦合等离子体处理装置

摘要

通过以期望的处理分布进行感应耦合等离子体处理。利用具备高频天线的感应耦合等离子体处理装置，在不同的时间实施第一处理和第二处理，使得在处理结束的时刻对基板得到所期望的处理分布，其中，上述高频天线具有供给有高频电力而形成外侧感应电场的形成为螺旋状的外侧天线、和在外侧天线的内侧同心状地设置、供给有高频电力而形成内侧感应电场的形成为螺旋状的内侧天线，第一处理为使在内侧天线中流动相对较大的电流值的电流，利用在与内侧天线对应的部分形成的内侧感应电场生成局部的等离子体进行处理，第二处理为使在外侧天线中流动相对较大的电流值的电流，利用在与上述外侧天线对应的部分形成的外侧感应电场生成局部的等离子体进行处理。

主权项

一种感应耦合等离子体处理方法，其为使用感应耦合等离子体处理装置对基板进行感应耦合等离子体处理的感应耦合等离子体处理方法，该方法的特征在于：所述感应耦合等离子体处理装置具备：收纳基板并对其实施等离子体处理的处理室；在所述处理室内载置基板的载置台；向所述处理室内供给处理气体的处理气体供给系统；对所述处理室进行排气的排气系统；天线单元，其具有在所述处理室内与基板对应地平面地配置的、用于生成感应耦合等离子体的高频天线；和对所述高频天线供给高频电力的高频电力供给构件，所述高频天线至少具有：被供给高频电力而形成外侧感应电场的形成为螺旋状的外侧天线；和在所述外侧天线的内侧同心状地设置的、被供给高频电力而形成内侧感应电场的形成为螺旋状的内侧天线，所述高频电力供给构件具有高频电源和匹配器，所述天线单元，具有从所述高频电源经匹配器到所述内侧天线和所述外侧天线的供电路径，形成有包括所述各天线和所述各供电路径的内侧天线电路和外侧天线电路，还具有阻抗调整构件，该阻抗调整构件对所述内侧天线电路和所述外侧天线电路中的至少一个的阻抗进行调整，从而调整所述各天线的电流值，所述感应耦合等离子体处理方法，利用所述阻抗调整构件对所述各天线的电流值进行调整，在不同的时间周期性地实施第一处理和第二处理，使得在处理结束的时刻对基板得到所期望的处理分布，其中，第一处理为在所述内侧天线和所述外侧天线中分别流动的电流的比较中，使在所述内侧天线中流动相对较大的电流值的电流，利用在与所述内侧天线对应的部分形成的所述内侧感应电场生成局部的等离子体，进行处理，第二处理为在所述内侧天线和所述外侧天线中分别流动的电流的比较中，使在所述外侧天线中流动相对较大的电流值的电流，利用在与所述外侧天线对应的部分形成的所述外侧感应电场生成局部的等离子体进行处理。