[发明专利]一种薄膜损伤的判别方法无效
| 申请号： | 201310047480.2 | 申请日： | 2013-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN103163147A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 苏俊宏;梁海锋;徐均琪;惠迎雪;杨利红 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/49;G01N21/59 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 商宇科 |
| 地址： | 710032*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种薄膜损伤的判别方法，包括以下步骤：1)将测试光束作用于待测光学薄膜获取背景光能量Eb；2)变化测试光束与待测光学薄膜的角度0，获取在当前角度0的散射光能量Eθ；3)获取测试光束波长处待测光学薄膜的透过率Tλ；4)根据步骤1)一步骤3)中的背景光能量Eb散射光能量Eθ、待测光学薄膜的透过率Tλ，得到相对光能量分布5)建立薄膜损伤判别模型：6)根据步骤5)的薄膜损伤判别模型，判别待测光学薄膜是否损伤；本发明针对不同膜系功能的损伤判别的统一标准，给出了判别损伤标准的方法，损伤判别过程不需要人为干预，即不同测量者可以获得统一的结果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 损伤 判别 方法 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜损伤的判别方法，其特征在于：所述方法包括以下步骤： 1)将测试光束作用于待测光学薄膜获取背景光能量Eb； 2)变化测试光束与待测光学薄膜的角度θ，获取在当前角度θ的散射光能量Eθ； 3)获取测试光束波长处待测光学薄膜的透过率Tλ； 4)根据步骤1)-步骤3)中的背景光能量Eb散射光能量Eθ、待测光学薄膜的透过率Tλ，得到相对光能量分布![]()
5)建立薄膜损伤判别模型： ![]()
其中，δEθ为有效相对散射光能； 6)根据步骤5)的薄膜损伤判别模型，判别待测光学薄膜是否损伤。
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