[发明专利]太阳能电池的制造方法及太阳能电池的制造装置

摘要

本发明提供一种太阳能电池的制造方法及太阳能电池的制造装置，其能够在各单元面内使离子注入量均匀，并且能够在多个单元之间使离子注入量均匀。在第1离子注入工序中，使多个单元（4）通过离子束照射区域（17），对多个单元（4）照射离子束后，在载置台旋转工序中通过托盘旋转机构（20）使托盘（3）旋转90度，从而改变托盘（3）的配置。之后，在第2离子注入工序中，输送旋转后的托盘，以使多个单元（4）通过离子束照射区域（17）。在该第2离子注入工序中，使各单元（4）相对于离子束照射区域（17）的配置与第1离子注入工序的配置不同。由此，在各单元（4）的面内使离子注入量均匀，进一步在多个单元（4）之间使离子注入量均匀。

主权项

一种太阳能电池的制造方法，通过一边沿输送方向输送至少在1个方向排列配置有多个单元的载置台，一边对所述多个单元照射离子束，从而向所述多个单元注入离子，其特征在于，包括：第1离子注入工序，以使所述多个单元通过所述离子束的预定照射区域的方式输送所述载置台，并对所述多个单元照射所述离子束；载置台旋转工序，使所述载置台旋转预定角度来改变所述载置台的配置；及第2离子注入工序，以使所述多个单元通过所述照射区域的方式输送旋转后的载置台，并对所述多个单元照射所述离子束。