[发明专利]一种单向扭转的高平衡可变光衰减器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种单向扭转的高平衡可变光衰减器，包括上部设有空腔的衬底、固定梳齿单元、两个活动电极区、微镜、活动梳齿单元和两根支杆，活动电极区与衬底之间设有第一二氧化硅绝缘层；两根支杆的一端均与微镜固定连接，另一端均通过扭转杆与一个活动电极区固定连接；活动梳齿单元固定连接在支杆的侧面，且活动梳齿单元位于固定梳齿单元的上方，固定梳齿单元位于支杆的一侧，固定梳齿单元中的固定梳齿与活动梳齿单元中的活动梳齿交错布置；微镜、活动梳齿单元、支杆和扭转杆均处于悬空状态。该可变光衰减器可实现任意位置精确控制微镜的扭转角度；同时，本发明还提供该可变光衰减器的制备方法，该制备方法简单，可靠性高，且加工精度高。

主权项

一种单向扭转的高平衡可变光衰减器，其特征在于，该可变光衰减器包括上部设有空腔的衬底（1）、固定连接在衬底（1）空腔中的固定梳齿单元（4）、位于衬底（1）上方的两个活动电极区（2）、微镜（3）、活动梳齿单元（5）和两根支杆（6），活动电极区（2）与衬底（1）之间设有第一二氧化硅绝缘层（8），两根支杆（6）的一端均与微镜（3）固定连接，两根支杆（6）的另一端均通过扭转杆（7）与一个活动电极区（2）固定连接；活动梳齿单元（5）固定连接在支杆（6）的侧面，且活动梳齿单元（5）位于固定梳齿单元（4）的上方，固定梳齿单元（4）位于支杆（6）的一侧，固定梳齿单元（4）中的固定梳齿与活动梳齿单元（5）中的活动梳齿交错布置；微镜（3）、活动梳齿单元（5）、支杆（6）和扭转杆（7）均处于悬空状态。