[发明专利]掩模版传输系统

摘要

本发明公开了一种掩模版传输系统，用于将掩模版加载至掩模台或自掩模台卸载掩模版，其包括版库、机械手以及预对准装置。版库用于储存掩模版。机械手沿版库储存掩模版的方向取放掩模版，并沿掩模台加载掩模版的方向加载或卸载掩模版。预对准装置设置于机械手的传输路径上，以在机械手自版库取出掩模版后，对掩模版执行预对准，在预对准完成后，机械手将掩模版加载至掩模台。版库储存掩模版的方向与掩模台加载掩模版的方向相同，以实现机械手的直入直出。本发明公开的掩模版传输系统可实现机械手的直入直出，以避免圆弧运动，使得传输路径简化，以降低系统风险。

主权项

一种掩模版传输系统，用于将掩模版加载至掩模台或自所述掩模台卸载所述掩模版，其特征是，所述掩模版传输系统包括：版库，用于储存所述掩模版；机械手，其沿所述版库储存所述掩模版的方向取放所述掩模版，并沿所述掩模台加载所述掩模版的方向加载或卸载所述掩模版；以及预对准装置，其设置于所述机械手的传输路径上，以在所述机械手自所述版库取出所述掩模版后，对所述掩模版执行预对准，在所述预对准完成后，所述机械手将所述掩模版加载至所述掩模台，其中所述版库储存所述掩模版的方向与所述掩模台加载所述掩模版的方向相同，以实现所述机械手的直入直出。