[发明专利]用于硅基太阳能电池模块的双层抗反射涂层无效

专利信息
申请号: 201310050704.5 申请日: 2013-01-04
公开(公告)号: CN103236445A 公开(公告)日: 2013-08-07
发明(设计)人: O·拉通德 申请(专利权)人: OC欧瑞康巴尔斯公司
主分类号: H01L31/0216 分类号: H01L31/0216
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 韦欣华;杨思捷
地址: 列支敦士*** 国省代码: 列支敦士登;LI
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摘要: 一种具有双层抗反射涂层(ARC)的硅晶片基太阳能电池,该双层ARC结合了10-30nm厚的含氢钝化层(例如SiXNY:H)和Nb2O5顶层(或概括地讲NbXOY),以使ARC的折射率与折射率为约1.5的覆层材料(例如玻璃或EVA、乙烯醋酸乙烯酯)最佳匹配。该双层ARC是通过PECVD或通过反应溅射法(PVD)Si靶与N2和/或NH3沉积的,该Nb2O5层是通过纯Nb靶或导电Nb2O5(x<5)靶与O2的反应溅射沉积的。
搜索关键词: 用于 太阳能电池 模块 双层 反射 涂层
【主权项】:
具有双层抗反射涂层的硅晶片基太阳能电池,包括:在晶片基硅太阳能电池的表面上的,其中所述表面在所述电池工作时面向光:‑含氢的硅钝化层,接着是‑氧化铌NbXOY层,‑折射率为约1.5的覆层。
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