[发明专利]恒温恒湿提拉涂膜机

摘要

本发明公开了一种恒温恒湿提拉涂膜机，包括底座、涂膜室、传动装置、温湿感应装置和电机，涂膜室内置有用于夹持涂膜衬底工件的夹具，夹具上设有提拉绳，提拉绳缠绕于电机主动轴上用于同步带动夹具做升降运动，涂膜室下部设有加热槽，加热槽与设于底座上的可控制待涂膜的溶胶-凝胶溶液温度和搅拌速度的加热搅拌装置相连，涂膜室中部设有温湿探测器，涂膜室后部设有可通入所需气体的进气孔和可排出多余气体的排气孔，进气孔与实验所需气体的气瓶之间通过减压阀等可控装置相接。本发明的优点在于，在成膜过程中，其周围气氛类型、温度和湿度以及涂膜溶液温度可控，提拉速度平稳并连续可调，易于操作，能更精确有效的保证薄膜质量和成膜品质整齐划一。

主权项

一种恒温恒湿提拉涂膜机，包括底座、涂膜室、传动装置、温湿感应装置和电机，其特征在于：所述涂膜室内置有用于夹持涂膜衬底工件的夹具，所述夹具上设有提拉绳，所述提拉绳缠绕于电机主动轴上用于同步带动夹具做升降运动，所述涂膜室下部设有加热槽，所述加热槽与设于底座上的可控制待涂膜的溶胶‑凝胶溶液温度和搅拌速度的加热搅拌装置相连，所述涂膜室中部设有温湿探测器与涂膜室外的温湿度显示器电性连接，所述涂膜室后部设有可通入实验所需气体的进气孔，所述涂膜室侧部设有可排出多余气体的排气孔，所述进气孔与实验所需气体的气瓶之间通过管道相接，所述管道上装有用于控制进气孔通入气流大小的调节装置。