[发明专利]太阳能电池单元的制造方法及太阳能电池单元

摘要

本发明提供一种太阳能电池单元的制造方法及太阳能电池单元，提供实现太阳能电池单元中的电极与基板的可靠性较高的低电阻导通的技术。本发明的太阳能电池单元的制造方法包括：发射极层形成工序，在该工序中，在太阳能电池用基板的受光面侧形成发射极层；防反射膜形成工序，在该工序中，在基板上形成以使基板的受光面的一部分露出的方式构图的防反射膜；接触区域形成工序，在该工序中，将防反射膜作为掩模，在露出的部分注入杂质而形成接触区域；及电极形成工序，在该工序中，在接触区域之上形成受光面电极。

主权项

一种太阳能电池单元的制造方法，其包括：发射极层形成工序，在该工序中，在太阳能电池用基板的受光面侧形成发射极层；防反射膜形成工序，在该工序中，在所述基板上形成以使所述基板的受光面的一部分露出的方式构图的防反射膜；接触区域形成工序，在该工序中，将所述防反射膜作为掩模，在所述露出的部分注入杂质而形成接触区域；及电极形成工序，在该工序中，在所述接触区域之上形成受光面电极。