[发明专利]对基板作业系统

摘要

本发明提供一种对基板作业系统，其通过即使在控制部和基板输送装置之间产生通信异常也可以利用基板输送装置执行基板输送，从而防止生产线整体停止。该对基板作业系统具有针对基板实施规定作业的对基板作业装置、以及向对基板作业装置输送基板的基板输送装置。对基板作业系统具有主控制部，其直接控制对基板作业装置，并且通过通信而间接地控制基板输送装置；副控制部，其基于通过从主控制部的通信而接收到的控制信号，对基板输送装置进行控制；以及指示输入部，其向副控制部输入从动指示或独立指示中的任意一种，其中，该从动指示用于基于从主控制部接收到的控制信号控制基板输送装置，该独立指示用于独立地控制基板输送装置。

主权项

一种对基板作业系统，其具有：对基板作业装置，其针对基板实施规定的作业；以及基板输送装置，其向所述对基板作业装置输送所述基板，由多个输送单元构成，所述多个输送单元由中央输送单元和与所述中央输送单元相比位于下游侧的输送单元构成，该对基板作业系统的特征在于，具有：主控制部，其直接对所述对基板作业装置进行控制，并且通过通信而间接地控制所述基板输送装置；副控制部，其基于通过从所述主控制部的通信而接收到的控制信号，对所述基板输送装置进行控制；指示输入部，其向所述副控制部输入从动指示或独立指示中的任意一种，其中，该从动指示用于基于从所述主控制部接收到的控制信号控制所述基板输送装置，该独立指示用于独立地控制所述基板输送装置；以及基板位置传感器，其设置在各个所述输送单元上，用于检测所述基板，基于所述指示输入部的指示和该基板位置传感器的检测结果，所述基板输送装置对所述基板进行输送，并且，在从所述指示输入部输入了独立指示，从下游侧的外部装置输入了搬出要求信号的情况下，所述基板输送装置将保持待机状态的基板向所述外部装置搬出，接下来，如果视为已经将在下游侧待机中的基板搬出，则利用所述中央输送单元对待机中的基板进行输送。