[发明专利]一种薄膜结构、压力传感器及电子装置

摘要

本发明提供一种薄膜结构、压力传感器及电子装置，涉及半导体技术领域。本发明的薄膜结构，包括至少两层层叠的主体结构层，以及位于相邻的所述主体结构层之间的层间过渡层；其中，所述主体结构层的材料为导电材料，所述层间过渡层的材料为非晶态化合物。本发明的压力传感器，其包括上述的薄膜结构。本发明的电子装置，包括上述的压力传感器。相对于现有技术，本发明的薄膜结构具有更好的应力性能，更好的表面平整度，以及更小的应变梯度。本发明的压力传感器，使用了该薄膜结构，具有更好的敏感度和可靠性。本发明的电子装置，由于使用了上述压力传感器，因而亦具有更好的灵敏度和可靠性。

主权项

1.一种可发生形变的导电薄膜结构，其特征在于，包括至少两层层叠的主体结构层，所述主体结构层的材料为导电材料，以及位于相邻的所述主体结构层之间的层间过渡层，所述层间过渡层的材料为非晶态化合物，以使所述导电薄膜结构具有更好的表面平整度和更小的应变梯度。