[发明专利]真空加工贴合机构以及真空贴合的方法

摘要

一种真空加工贴合机构，该下保持板及气囊设置于底板上，并将充气装置出气端连结于气囊、真空泵连结于下保持板的抽气口，将基板放置于上保持板的接合部以及下保持板抵压部上，将上板持板的导孔对准下保持板的导柱并套入，使上、下保持板接合；启动充气装置使气囊向上延伸填满上、下保持板的间隙，以调整上、下保持板的平面度；将气囊泄气通过真空泵使上、下保持板通过抽气口的压力差达成真空贴合效果，同时，设置于上下保持板上的基板因上、下保持板真空贴合而进行黏着保持。

主权项

一种真空加工贴合机构，其特征在于，包括：一底板；一下保持板，设置于底板上，该下保持板用于装卸基板，该下保持板的中央凹设一封闭区与一抵压部，该下保持板的四个角点上设有导柱供一上保持板套入接合，该下保持板于相邻导柱旁设有以偶数且对角设置的抽气口，以供真空贴合时，供真空泵抽气；该上保持板，设置于下保持板上方，该上保持板的四个角点具有对应导柱的导孔，使上保持板自由移动于下保持板上，而该上保持板的底面凸设有一对应抵压部的接合部，与下保持板接合时供基板压合用，且上保持板亦设有一封闭区供基板装卸；一气囊，设置于底板与下保持板之间，该气囊充气后向上延伸填满上、下保持板的间隙，以调整上、下保持板的平面度；一充气装置，设置于底板上并相邻于上保持板和下保持板，该充气装置出气端与气囊连接，使气囊得以充气；一真空泵，设置于底板上并相邻于上保持板和下保持板，该真空泵通过气囊的快速排气端抽气，协助气囊泄气，且于气囊泄气后通过下保持板的抽气口进行抽气，使上保持板和下保持板接合达成真空贴合效果。