[发明专利]一种高纯钽靶材的生产方法

摘要

本发明涉及一种高纯钽靶材的生产方法，其包括（1）将大小为5~10mm*5~10mm的钽块置于氢化炉中进行吸氢；（2）将吸氢完毕的钽破碎成-200目的粉末，置于钢包套中，按一定速率和阶段进行升温和抽气，之后将钢包套置于热等静压机中进行烧结，烧结温度为1100~1500℃，气氛压力为50~200MPa，最后机加工，切割成规定形状，即得。本发明采取粉末冶金的方法并结合特定的工艺条件，可以获得织构分布均匀、晶粒大小分布均匀且晶粒尺寸小的钽靶材，该靶材具有高沉积速度和较好的膜均一性，产生出较少的电弧和粒子并具有较好的成膜性能。特别是，本发明的方法的工艺过程简单，成本较低。

主权项

一种高纯钽靶材的生产方法，其特征在于：所述的生产方法包括依次进行的如下步骤：（1）、选择纯度大于99.999%的钽锭为原料，将钽锭切割成大小为5~10mm*5~10mm的块体，将钽块置于氢化炉中，将真空抽至6.67×10‑3Pa及以下，然后充入1atm氢气，再将真空度抽至6.67×10‑3Pa及以下，充入氢气，将炉内压力调为10‑1Pa级，开始加热，升温速率为100~400℃/h，温度升至300~500℃时，保持炉内氢气压力为0.5~1.2atm，持续升温直至温度达550~850℃，待炉内压力不再出现下降时，停止加热，随炉冷却，温度低于50℃时出炉；（2）、将吸氢完毕的钽颗粒用对辊破碎机破碎成‑100目的粉末，再用气流粉碎机粉碎成为‑200目的粉体，然后置于钢包套中，抽气，让炉内压力保持在10‑2Pa级，然后将钢包套置于井式加热炉中加热，升温速率为100~400℃/h，温度升至300~500℃时，开始持续抽气，炉内压力保持在10‑1Pa级，持续升温直至温度达600~900℃，待炉内压力不再变化时，停止抽气，将抽气口焊死，之后将钢包套置于热等静压机中进行烧结，烧结温度为1100~1500℃，气氛压力为50~200MPa，保温时间为1~5小时，随炉冷，泄压，从钢包套中取出钽，机加工，切割成规定形状，即得所述高纯钽靶材。