[发明专利]迷宫式密封件有效
申请号: | 201310060701.X | 申请日: | 2013-02-26 |
公开(公告)号: | CN103307285B | 公开(公告)日: | 2017-05-10 |
发明(设计)人: | 尾堂太亮;长谷川昌孝;铃木信行;横山和正 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | F16J15/447 | 分类号: | F16J15/447;B08B7/00;B29D7/01;C08J5/18 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人: | 臧建明 |
地址: | 日本东京港区*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种迷宫式密封件、清洗单元及方法、溶液制膜方法。清洗单元使包含干冰颗粒的清洗气体(67)从喷嘴喷出而与周面(21a)接触。清洗气体(67)所接触的周面(21a)的清洗区被壳体主体(64)覆盖,吸引壳体主体(64)内的气体,从而吸引从周面(21a)剥离的污染物或清洗气体(67)等。与壳体主体(64)的周面(21a)对置的对置面(64d)上设置有迷宫式密封件(77),迷宫式密封件(77)具有分别向槽(91~93)与喷嘴侧的壁面(77a)开口来贯穿内部的孔(101)。孔(101)通过集合管(111)及管(82)与排气部(71)连接。通过排气部(71)吸引凸片(85~88)周围的气体。 | ||
搜索关键词: | 迷宫 密封件 清洗 单元 方法 溶液 | ||
【主权项】:
一种迷宫式密封件,其中,该迷宫式密封件具备以下:多个密封凸片部件,每一个密封凸片部件均具有凸片;及孔,贯穿形成以使气体通过,所述孔的一端向所述多个凸片之间的槽开口,所述孔的另一端连接有吸引气体的吸引部,其特征在于,所述迷宫式密封件具备:位移机构,使所述密封凸片部件各自独立变位;及控制器,为了调整所述密封凸片部件的各变位量而控制所述位移机构;且所述密封凸片部件相互滑动接触并沿着所述凸片的垂直面的方向变位自如。
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