[发明专利]振动片、传感器单元及电子设备

摘要

振动片、传感器单元及电子设备。振动片具有基部(21)、驱动用振动臂(22a、22b)、检测用振动臂(23a、23b)和调整用振动臂(25a、25b)，驱动用振动臂(22a、22b)被驱动成在预定的面内弯曲振动，在设基部(21)的厚度为t，驱动用振动臂(22a、22b)延伸方向上的基部(21)的长度为L，检测用振动臂(23a、23b)的与预定面交叉的方向上的固有振动频率为f1，驱动用振动臂(22a、22b)的与预定面交叉的方向上的固有振动频率为f2，调整用振动臂(25a、25b)的与预定面交叉的方向上的固有振动频率为f3时，满足如下关系(1)和(2)(1)f3＞f2(2)0.964×(1‑0.321(1+L/t))≦f2/f1≦0.995。

主权项

一种振动片，其特征在于，该振动片具有：振动体，其具有基部、从所述基部的一端延伸出的第1振动臂、和从所述基部的与所述一端相反侧的另一端延伸出的第2振动臂；以及突状部，其从所述振动体起沿着所述第2振动臂延伸的方向设置，所述振动体和所述突状部形成于基板，所述第1振动臂和所述第2振动臂中的一方是驱动用振动臂，另一方是检测用振动臂，所述驱动用振动臂被驱动成在预定的面内进行弯曲振动，所述预定的面是与所述基板的主面平行的面，在设所述基部的厚度为t，所述第2振动臂延伸的方向上的所述基部的长度为L，所述第1振动臂的与所述预定的面交叉的方向上的固有振动频率为f1，所述第2振动臂的与所述预定的面交叉的方向上的固有振动频率为f2，所述突状部的与所述预定的面交叉的方向上的固有振动频率为f3时，满足如下关系(1)和(2)：(1)f3＞f2(2)0.964×(1‑0.321(1+L/t))≦f2/f1≦0.995。